Acquisition d'un élipsiomètre in situ

Le contrat porte sur l'achat d'un ellipsomètre in situ destiné à mesurer l'épaisseur des couches gravées ou déposées lors de procédés dédiés à la microélectronique. Voici les principales prestations techniques demandées :

1. Installation de l'ellipsomètre :

   • L'ellipsomètre sera installé sur un réacteur PlasmaPro-100 ICP/Cobra, équipé de brides DN40-KF à 70°.
   • Des tests de réception du matériel seront effectués sur un support mécanique fourni par le candidat.

2. Mesures in situ :

   • Réalisation de mesures in situ, sous vide, avec ou sans plasma, sur des plaquettes de silicium de 100 ou 150 mm de diamètre.
   • Possibilité de mesures sur des échantillons de 10 x 10 mm collés sur un substrat de support.

3. Spécifications techniques :

   • La gamme spectrale doit être comprise entre 400 et 900 nanomètres, avec au moins 150 longueurs d'onde mesurées.
   • Le temps d'acquisition de l'ensemble du spectre doit être inférieur à 500 ms.

4. Équipement et accessoires :

   • Description détaillée de l'équipement, y compris la source de lumière, le module d'entrée, et les boîtiers électroniques de contrôle.
   • Fourniture d'outils spécifiques, d'échantillons étalons et de pièces détachées.

5. Logiciels et système de pilotage :

   • L'instrument sera équipé de la version la plus récente du logiciel de pilotage compatible avec le matériel fourni.
   • Engagement du fournisseur à fournir des mises à jour gratuites ou payantes selon les nouveautés.

6. Conditions d'installation :

   • Description précise des conditions d'installation, y compris les dimensions et le poids des colis, ainsi que les responsabilités de l'installateur et du GREMI.

7. Garantie et maintenance :

   • Garantie de 2 ans minimum contre tout vice de fabrication et défaut de matière.
   • Assistance à distance pour le diagnostic des défaillances et intervention en cas de besoin.