Fourniture d'une baie de commandes automatisées et mise à niveau d'un procédé PVD

La prestation consiste à fournir et à automatiser une baie de commande pour bâti PVD de pulvérisation cathodique, à l’installer et à former le personnel en fonction des exigences fournies par le CEA. La prestation doit intégrer tous les composants fournis par le CEA Valduc, fournir les composants manquants et automatiser l’ensemble.

1. Données techniques

• Éléments fournis par le CEA :

  • Enceinte de dépôt NEYCO
  • Générateurs DC « bdiscom BDS.SP500 »
  • Générateur RF et sa boîte d’accord automatique « bdiscom BDS.HF/BDS-AMN750 »
  • Pompe primaire Alcatel « ACP 28 »
  • Pompe turbo-moléculaire Pfeiffer Vacuum « TPH2101UPX » et sa vanne de laminage VAT associée
  • Groupe froid Uber « UNICHILLER 028-MPC »

• Système de pompage :

  • Système automatisé intégrant les éléments fournis par le CEA, permettant d’atteindre un vide limite de 10-7 mbar.
  • Pilotage par automate à écran tactile de 19" minimum.
  • Adaptation nécessaire entre les différents diamètres de l’enceinte, de la vanne à tiroir et de la pompe turbo-moléculaire.

• Automate du procédé :

  • Intégré dans la baie, à commande tactile, avec possibilité de branchement USB.
  • Interface permettant une vision totale de l’état du système, avec historique des événements.
  • Différents modes de fonctionnement : Maintenance, Stand-By, Production, Manuel.

• Baie de commande :

  • Éléments de contrôle intégrés dans une baie électrique 19".
  • Ventilation pour évacuer les calories générées.
  • Alimentation à la charge du CEA, avec bandeau de prises.

2. Panoplie d’eau et de distribution d’azote

• Intégration d’une panoplie de distribution d’eau de refroidissement et d’un circuit d’azote, avec tous les tuyaux et raccords nécessaires fournis par le Titulaire.

3. Expédition, livraison et installation

• L’expédition est à la charge du CEA, tandis que l’emballage et la réexpédition sont à la charge du Titulaire.
• Installation, mise en service, et formation sont également à la charge du Titulaire, qui doit respecter les prescriptions d’usage du CEA.

4. Garantie

• Le Titulaire s’engage à assurer la maintenance des éléments installés pendant une durée d’au moins un an.