Jouvence d'un équipement de dépôt par pulvérisation cathodique radiofréquence

1. Prestations de base – Fonctions

• F1 - Ajout d'un SAS de chargement, système de transfert et instrumentation associée :

  • Installation d'un SAS de chargement pour gérer l’introduction des échantillons dans la chambre de dépôt sous vide.
  • Intégration d'un système de transfert pour acheminer les échantillons vers la chambre de dépôt, compatible avec des échantillons jusqu’à 50 mm de diamètre.
  • Fourniture d'un bras manipulateur manuel, d'un système de pompage, de vannes électropneumatiques, et de jauges de pression.
  • Capacité d'adaptation pour substrats carrés de 1 cm x 1 cm.

• F2 - Rénovation et installation d’un nouveau système de chauffage pour le porte-échantillon :

  • Système de chauffage capable d'atteindre 700°C, idéalement 800°C, sous une pression partielle d’oxygène jusqu’à 5 Pa.
  • Maintien de la rotation du substrat pendant le dépôt, sans interférence avec le système de chauffage.
  • Conformité avec les normes de sécurité et environnementales.

2. Prestations Supplémentaires éventuelles (PSE)

• PSE1 - Inversion du sens de dépôt :

  • Modification du système de pulvérisation cathodique pour inverser le sens de dépôt, avec la cathode en bas et l'échantillon en haut.
  • Analyse des impacts sur les fonctions F1 et F2.

• PSE2 - Implantation d’une cathode en mode Off axis :

  • Positionnement d'une cathode en mode "off axis" et possibilité de déplacer une seconde cathode.

• PSE3 - Remplacement de la pompe turbomoléculaire et commande associée :

  • Remplacement de la pompe existante par une nouvelle compatible, avec une commande électronique pour gérer le vide.
  • Garantir un vide de haute qualité et minimiser la consommation d’énergie.