1 marchés publics en Équipements industriels dans l'Indre-et-Loire (37)

Jouvence d'un équipement de dépôt par pulvérisation cathodique radiofréquence.

• Ajout d'un SAS de chargement et système de transfert pour échantillons jusqu’à 50 mm.
• Rénovation d’un système de chauffage atteignant 700°C, avec rotation du substrat.
• Prestations supplémentaires possibles : inversion du sens de dépôt, implantation d’une cathode en mode off axis, remplacement de la pompe turbomoléculaire.