3 marchés publics en Équipements spécialisés dans le Loiret (45)

Acquisition et installation d'un instrument de diffusion des rayons X haut flux.

• Source de RX/optique/collimation avec faisceau réglable entre 50µm et 1mm.
• Chambre environnementale compatible avec mesures sous vide primaire.
• Détecteurs bidimensionnels pour SAXS et WAXS/GIWAXS avec spécifications techniques précises.
• Platine goniométrique motorisée et zone de collimation sous vide.

Acquisition d'un ellipsomètre in situ destiné à mesurer l'épaisseur des couches gravées ou déposées lors de procédés dédiés à la microélectronique.

• Installation sur un réacteur PlasmaPro-100 ICP/Cobra avec tests de réception.
• Réalisation de mesures in situ sous vide sur des plaquettes de silicium de 100 ou 150 mm.
• Spécifications techniques incluant une gamme spectrale de 400 à 900 nm et un temps d'acquisition inférieur à 500 ms.
• Fourniture d'équipements, logiciels, garantie de 2 ans et assistance à distance.

Acquisition d'un démonstrateur constitué de 4 robots industriels pour la manipulation coordonnée d'objets de différentes natures et dimensions.

• Robots industriels Stäubli TX2-60L avec 6 articulations, installation en configuration suspendue.
• Système de commande avec 4 contrôleurs indépendants et un PLC, permettant plusieurs modes de contrôle.
• Application logicielle développée par le client avec interface homme-machine.
• Support et outillage pour montage/démontage sécurisé.